斷面研磨和平面研磨的混合式離子研磨儀器

時間：2023-01-08 點(diǎn)擊次數(shù)：2545

配備斷面研磨能力達(dá)到500 µm/h^*2以上的高效率離子槍。因此，即使是硬質(zhì)材料，也可以高效地制備出斷面樣品。

*2 在加速電壓6 kV下，將Si從遮擋板邊緣伸出100 µm并加工1小時時的最大深度

● 即使是由硬度以及研磨速度不同的成分所構(gòu)成的復(fù)合材料，也可以制備出平滑的斷面樣品

● 優(yōu)化加工條件，減輕損傷

● 可裝載最大20 mm(W) × 12 mm(D) × 7 mm(H)的樣品

● 制備金屬以及復(fù)合材料、高分子材料等各種樣品的斷面

● 制備用于分析開裂和空洞等缺陷的斷面

● 制備評價、觀察和分析所用的沉積層界面以及結(jié)晶狀態(tài)的斷面

斷面研磨加工原理圖

● 均勻加工成直徑約為5mm的范圍

● 可運(yùn)用于符合其目的的廣泛領(lǐng)域

● 最大可裝載直徑50 mm × 厚度25 mm的樣品

● 可選擇旋轉(zhuǎn)和擺動（±60度～±90度的翻轉(zhuǎn)）2種加工方法

● 去除機(jī)械研磨中難以消除的細(xì)小劃痕和形變

● 去除樣品的表層

● 消除FIB加工的損傷

平面研磨（Flat Milling®）加工原理圖

● 樣品無需從樣品臺取下，就可直接在SEM上進(jìn)行觀察。

● 在抽出式的日立SEM上，可按照不同的樣品分別設(shè)置截面、平面研磨桿，因此，在SEM上觀察之后，可根據(jù)需要進(jìn)行再加工。

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